问答题
（1）盘片吸真空不好； （2）电机不转，没电或坏； （3）电机驱动器故障。
如何更换Arm手臂的吸碟头？
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烘炉Arm手臂放片不好，如何调整？
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旋涂碗不转，如何处理？
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