问答题
当真空里的压强减低时,气体分子间的空间加大了,这成为气体流过系统及在工艺腔内产生等离子体的重要因素。而初级泵可以去除腔内......
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例出并描述4种真空范围。
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解释投射电子能显微镜。
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硅片关键尺寸测量的主要工具是什么?
问答题硅片关键尺寸测量的主要工具是什么?