多项选择题
A.一般排气系统 B.特殊排气系统 C.制程排气系统 D.专用排气系统 E.排气排水系统
静电释放带来的问题有哪些（）。A.金属电迁移B.金属尖刺现象C.芯片产生超过1A的峰值电流D.栅氧化层击穿E....
多项选择题静电释放带来的问题有哪些（）。
A.金属电迁移 B.金属尖刺现象 C.芯片产生超过1A的峰值电流 D.栅氧化层击穿 E.吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面
由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。A.几伏B.几十伏C.几百伏D.几万伏
单项选择题由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。
A.几伏 B.几十伏 C.几百伏 D.几万伏
ESD产生（）种不同的静电总类。A.1B.4C.3D.2
单项选择题ESD产生（）种不同的静电总类。
A.1 B.4 C.3 D.2
