Gate Cleaner最重要的Unit是Conveyor。

起到真空和大气压转换作用的是Transfer Chamber。

判断题起到真空和大气压转换作用的是Transfer Chamber。

Pattern形成由Sputter工程进行控制。

判断题Pattern形成由Sputter工程进行控制。

在冷却系统中用于隔离Lamp区域和Glass区域的是Water Filter。

判断题在冷却系统中用于隔离Lamp区域和Glass区域的是Water Filter。