问答题
由于正交的磁场有效的地将电子束缚在靶面附近运动，大大提高了电子的电离能力，所以磁控溅射可以在较低的放电电压，在较低的压力......
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合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？
问答题合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？
沉积速率与压力关系如何？
问答题沉积速率与压力关系如何？
什么是溅射速率？
问答题什么是溅射速率？
