填空题

扩散的目的是为了实现对半导体掺杂,杂质扩散的深度与()有关,服从()。杂质扩散通常分为等表面浓度扩散,也(),和固定杂质总量扩散,也称()。预淀积的分布是()函数,再分布扩散的杂质呈()函数分布。

【参考答案】

杂质浓度梯度、扩散温度、扩散时间;费克定律;预淀积;再分布扩散;余误差;高斯