一般来说，伺服系统的执行元件主要分为（）（）（）。

直齿圆柱齿轮传动机构中消除齿侧隙的常用方法（）、（）

填空题直齿圆柱齿轮传动机构中消除齿侧隙的常用方法（）、（）

传感器的静态指标主要有（）、（）、（）、（）和（）

填空题传感器的静态指标主要有（）、（）、（）、（）和（）

机电一体化系统由（）、（）、（）、（）、（）单元组成。

填空题机电一体化系统由（）、（）、（）、（）、（）单元组成。