问答题
染料溶液下料不足，过滤器堵塞，机械手下料位置和转速失当。
如果旋涂室内湿度升高，温度不变，OD会如何变化？
问答题如果旋涂室内湿度升高，温度不变，OD会如何变化？
如果旋涂室内温度升高，湿度不变，OD会如何变化？
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在调整旋涂时，请简单说明如何降低尾部OD？
问答题在调整旋涂时，请简单说明如何降低尾部OD？
