快速热退火大大降低杂质的再分布，对制备浅结器件特别有利。

平均投影射程是指射程在入射方向上的投影的平均值，往往此处杂质浓度最大。

判断题平均投影射程是指射程在入射方向上的投影的平均值，往往此处杂质浓度最大。

扩散和离子注入都可以掺杂，但两者各有利弊，所以都在使用。

判断题扩散和离子注入都可以掺杂，但两者各有利弊，所以都在使用。

离子注入掺杂可以单独控制杂质浓度和结深，而扩散掺杂却不行。

判断题离子注入掺杂可以单独控制杂质浓度和结深，而扩散掺杂却不行。