脱水烘烤是在（）的氛围中进行烘烤。

（）不是光刻的曝光方式。A.接触式B.接近式C.投射式D.投影式

单项选择题（）不是光刻的曝光方式。

投影式曝光的优势是（）A.分辨率高B.复印面积大C.复印精度好D.以上都是

单项选择题投影式曝光的优势是（）

深紫外光刻采用（）谱线。A.193nm和248nmB.190nm和240nmC.100nm和300nmD.20...

单项选择题深紫外光刻采用（）谱线。