问答题

简答题 简述带电粒子核反应瞬发分析时,能谱分析法,共振核反应法测量深度分布时的深度分辨率。

【参考答案】

能谱分析法的典型深度分辨率为几十到几百nm量级
共振核反应法典型深度分辨率为几到几十nm量级