光栅读数头主要由光源、透镜、标尺光栅、（）驱动电路组成。

步进式伺服驱动系统是典型的开环控制系统，在此系统中执行元件是（）

填空题步进式伺服驱动系统是典型的开环控制系统，在此系统中执行元件是（）

单微处理器结构CNC装置的微处理器由（）和运算器组成。

填空题单微处理器结构CNC装置的微处理器由（）和运算器组成。

在闭环数控系统中，机床的定位精度主要取决于（）的精度。

填空题在闭环数控系统中，机床的定位精度主要取决于（）的精度。