问答题
掺杂剂量（Predeposition dose）：单位面积硅片内的杂质数。对于恒定表面源扩散，由于......
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什么是恒定表面源扩散？其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响？其中哪一个影响最主要？为什么？
问答题什么是恒定表面源扩散？其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响？其中哪一个影响最主要？为什么？
解释扩散系数及其物理含义，并说明影响扩散系数的主要因素是什么，及如何影响？
问答题解释扩散系数及其物理含义，并说明影响扩散系数的主要因素是什么，及如何影响？
说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点，并各举一例。
问答题说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点，并各举一例。
