西维脏污由两个License文件：分别是License.dat文件和License.lic文件。

造成的暗角不良的主要原因是holder与晶圆偏移过大造成。

判断题造成的暗角不良的主要原因是holder与晶圆偏移过大造成。

平台LSC做效果检查colorshading测试时需要设置OB。

判断题平台LSC做效果检查colorshading测试时需要设置OB。

Yshading、Colorshading一般采用LSC的测试环境。

判断题Yshading、Colorshading一般采用LSC的测试环境。