提高刻蚀均匀性的关键在于（）。

刻蚀过程中的刻蚀速率不稳定可能是由于（）。A.刻蚀气体流量波动B.温度不稳定C.压力变化D.以上都是

单项选择题刻蚀过程中的刻蚀速率不稳定可能是由于（）。

刻蚀机的操作培训重点在于（）。A.设备原理B.操作规程C.安全注意事项D.以上都是

单项选择题刻蚀机的操作培训重点在于（）。

以下哪种不是提高刻蚀机生产效率的方法（）？A.增加刻蚀腔数量B.缩短刻蚀时间C.降低刻蚀精度D.优化工艺流程

单项选择题以下哪种不是提高刻蚀机生产效率的方法（）？