溅射中用于轰击靶材的气体是（）。

PVD的定义为（）。A.物理气相沉积B.化学气相沉积C.等离子气相沉积D.平面真空镀膜

单项选择题PVD的定义为（）。

简述薄膜应力对X射线衍射峰的影响规律及利用X射线衍射技术测童薄膜应力的两种方法。

问答题简述薄膜应力对X射线衍射峰的影响规律及利用X射线衍射技术测童薄膜应力的两种方法。

根据基片应变里求薄膜变形量的方法有哪些？

问答题根据基片应变里求薄膜变形量的方法有哪些？