问答题
离子源（又称离子枪，产生离子束流）、真空系统、控制系统、电源。
离子束加工的特点是什么？
问答题离子束加工的特点是什么？
离子束加工的基本原理和特点是什么？
问答题离子束加工的基本原理和特点是什么？
电子束加工可用于哪里？
问答题电子束加工可用于哪里？
