有限表面源扩散的杂质分布服从（）分布。

杂质原子（或离子）在半导体晶片中的扩散机构比较复杂，但主要可分为两种机构：替位式扩散和（）式扩散。

填空题杂质原子（或离子）在半导体晶片中的扩散机构比较复杂，但主要可分为两种机构：替位式扩散和（）式扩散。

入射离子的两种能量损失模型为：核碰撞和（）碰撞。

填空题入射离子的两种能量损失模型为：核碰撞和（）碰撞。

负胶适于刻蚀（）（细/粗）线条。

填空题负胶适于刻蚀（）（细/粗）线条。