PG3000RMX减薄机框架装载台部分检查项目方法为（）。

A.观察Table面是否平整完好
B.检查紧固松动部件和螺丝
C.放置晶圆，打开真空，检查晶圆吸附后W/FTABLE真空开关显示真空大小。
D.放置框架，打开真空，检查贴片框架吸附真空大小。

A.观察陶瓷清洁圈底面有无破损或变粗，动作是否灵活。
B.在半自动模式中选择“PLAT”单步操作，检查动作有无异常。
C.检查调整清洁圈在吸盘上的高度
D.清洁圈降低后应接触吸盘2-3mm的余量

A.检查各滚轮固定是否松动
B.观察胶轮外观有无破损划伤
C.检查各附件状态是否正常
D.辅助气缸，管线，传感器完好，功能正常，无松动。