压阻式压力传感器是利用半导体材料的（）和集成电路工艺制成的传感器。

将压力信号转换成电信号输出的传感器是（）传感器。

填空题将压力信号转换成电信号输出的传感器是（）传感器。

电容式接近开关以电极为检测端的（）工作。

填空题电容式接近开关以电极为检测端的（）工作。

电感式接近开关是由变频振荡、检波、放大、施密特电路及（）等组成。

填空题电感式接近开关是由变频振荡、检波、放大、施密特电路及（）等组成。