块状、棒状多晶硅断面结构应（）。

破碎的块状多晶硅具有无规则的形状和随机尺寸分布，其线性尺寸最小为（）mm，最大为（）mm。

填空题破碎的块状多晶硅具有无规则的形状和随机尺寸分布，其线性尺寸最小为（）mm，最大为（）mm。

测量炉腔压力的两个压力计量程各为（），（）。

填空题测量炉腔压力的两个压力计量程各为（），（）。

石英坩埚的化学成份是（），化学式是（）。

填空题石英坩埚的化学成份是（），化学式是（）。