单项选择题
A.蒸镀 B.离子注入 C.溅射 D.沉积
真空镀膜室是由（）几部分组成。A.钟罩B.蒸气源加热器C.衬底加热器D.活动挡板E.底盘
多项选择题真空镀膜室是由（）几部分组成。
A.钟罩 B.蒸气源加热器 C.衬底加热器 D.活动挡板 E.底盘
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。A.隔挡气体交换B.控制蒸发的过程C.辅助...
单项选择题真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
A.隔挡气体交换 B.控制蒸发的过程 C.辅助热量交换 D.温度调节
真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。A.衬底加热器B.抽气系统C.真空室D.蒸气源加热器
单项选择题真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。
A.衬底加热器 B.抽气系统 C.真空室 D.蒸气源加热器
