由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。

电子束加工是利用电能使电子加速转换成动能撞击工件，又转换成热能来蚀除金属的。

判断题电子束加工是利用电能使电子加速转换成动能撞击工件，又转换成热能来蚀除金属的。

电致伸缩微量进给装置的三大关键技术是电致伸缩传感器、微量进给装置的机械结构及其驱动电源。

判断题电致伸缩微量进给装置的三大关键技术是电致伸缩传感器、微量进给装置的机械结构及其驱动电源。

实现超精密加工的关键是微量去除技术。

判断题实现超精密加工的关键是微量去除技术。