简答题 解释曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤过度和不足会产生什么问题？

软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？

问答题软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？

简述光刻工艺的8道工序

问答题简述光刻工艺的8道工序

列出4种曝光技术，并说明那种分辨率最高，说明各种曝光技术的优缺点。

问答题列出4种曝光技术，并说明那种分辨率最高，说明各种曝光技术的优缺点。