问答题
一、将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中 二、在后续工艺中,保护下面的材料
例出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。
问答题例出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。
解释什么是暗场掩模板?
问答题解释什么是暗场掩模板?
解释正性光刻和负性光刻的区别?为什么正胶是普遍使用的光刻胶?最常用的正胶是指哪些胶?
问答题解释正性光刻和负性光刻的区别?为什么正胶是普遍使用的光刻胶?最常用的正胶是指哪些胶?