问答题
概念：一种有机化合物，受紫外光曝光后，在显影液中的溶解度会发生变化目的：（1）将掩模版图案转移到......
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简述离子注入设备的五个主要子系统
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简述离子注入的优缺点
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简述热扩散的三个步骤，以及它们的作用
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