问答题
（1）真空室，为蒸发过程提供必要的真空环境（2）蒸发源或蒸发加热器，放置蒸发材料并对其加热（3）基板......
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辉光放电过程中为什么P·d太小或太大，都不容易起辉放电？
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简述物理气相沉积法的共同特点？
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讨论工作气体压力对溅射镀膜过程的影响？
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