问答题
干氧的氧化速率最慢，但其氧化层质量最好。湿氧的氧化速率快，但其氧化层质量不如干氧工艺。实际氧化工艺多采用干氧-湿氧-干氧......
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为什么氧化层厚度越厚，热氧化生长的速率越慢？
问答题为什么氧化层厚度越厚，热氧化生长的速率越慢？
Si片定位边或定位槽的作用是什么？
问答题Si片定位边或定位槽的作用是什么？
电子级poly-Si的纯度是多少？比较CZ法与FZ法制备Si单晶的优缺点。
问答题电子级poly-Si的纯度是多少？比较CZ法与FZ法制备Si单晶的优缺点。
