填空题
电阻薄膜层光刻;高层绝缘层光刻;互连金属层光刻
解释质量输运限制CVD工艺和反应速度限制CVD工艺的区别,哪种工艺依赖于温度,LPCVD和APCVD各属于哪种...
问答题解释质量输运限制CVD工艺和反应速度限制CVD工艺的区别,哪种工艺依赖于温度,LPCVD和APCVD各属于哪种类型?
离子注入后为什么要退火,高温退火和快速热处理哪个更优越,为什么?
问答题离子注入后为什么要退火,高温退火和快速热处理哪个更优越,为什么?
为什么栅介质层的厚度减少有一个大致的极限?为什么现在需要高K值(介电常数)的栅介质?低K介质用在什么地方?为什...
问答题为什么栅介质层的厚度减少有一个大致的极限?为什么现在需要高K值(介电常数)的栅介质?低K介质用在什么地方?为什么?