问答题
（1）参加反应的气体混合物被输运到沉积区；（2）反应物由主气流扩散到衬底表面；（3）反应物分钟吸......
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具体描述CMOS集成电路的工艺流程是怎样的？
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二氧化硅膜在集成电路中有哪些用途？
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施主杂质和受主杂质的含义是什么？
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