为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。A.电极B.分析器C.加速器D.腔体

单项选择题离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。

在磁分析器中常用（）分析磁铁。A.柱形B.扇形C.方形D.圆形

单项选择题在磁分析器中常用（）分析磁铁。

为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。A.磁分析器B.正交电磁场分析...

单项选择题为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。