一般情况下，与湿法刻蚀相比，干法刻蚀具有较高的选择比。

湿法刻蚀的选择性比干法刻蚀好。

判断题湿法刻蚀的选择性比干法刻蚀好。

湿法刻蚀设备简单，成本低，生产效率较高。

判断题湿法刻蚀设备简单，成本低，生产效率较高。

各向异性腐蚀是指刻蚀因子特别小。

判断题各向异性腐蚀是指刻蚀因子特别小。