问答题
讨论CZ法中影响单晶径向电阻率均匀性的因素及其控制办法。
问答题讨论CZ法中影响单晶径向电阻率均匀性的因素及其控制办法。
讨论CZ法中影响单晶纵向电阻率均匀性的因素及其控制办法。
问答题讨论CZ法中影响单晶纵向电阻率均匀性的因素及其控制办法。
简述CZ法中杂质掺入办法及其选择依据。
问答题简述CZ法中杂质掺入办法及其选择依据。