介电陶瓷最大的缺点是难以做得很薄，故使电容器的容量受到很大限制。

固态反应一般包括相界面上的反应和物质迁移两个过程，反应物浓度对反应的影响很小，均相反应动力学不适用。

判断题固态反应一般包括相界面上的反应和物质迁移两个过程，反应物浓度对反应的影响很小，均相反应动力学不适用。

PVD法有2种镀膜方式。

判断题PVD法有2种镀膜方式。

PEVCD的优点是工件的温度较低。

判断题PEVCD的优点是工件的温度较低。