多项选择题

为避免沟道效应通常如何注入离子?

A.精确对准靶的某一晶面如(111),垂直注入
B.离子束与靶晶向的夹角小于临界角注入
C.离子束与靶晶向夹角大于临界角注入
D.隔着氧化层注入