单项选择题

离子注入所造成的晶格损伤会直接影响半导体材料和器件的特性,主要影响有() 1 PN 结反向漏电流增大 2 载流子迁移率下降 3 少子寿命下降 4 杂质原子大多处于间隙位置不能提供导电性能

A.②③
B.①②④
C.②③④
D.①②③④