单项选择题

在Si中注入P+，能量为100KeV，剂量是10∧13离子/cm∧2，查表可知Rp≈0.12μm，ΔRp=0.042μm，峰值浓度是多少？在0.2μm处杂质浓度是多少？

A.5×10∧17离子/cm；
B.2μm处杂质浓度是3.7×10∧17离子/cm∧2；
C.5×10∧13离子/cm∧2；
D.2μm处杂质浓度是3.7×10∧13离子/cm∧2。

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