问答题
简答题
使用什么材料制作投影掩膜板，投影掩膜板上形成图形的不透明材料是什么？
【参考答案】
最主要的是用于亚微米光刻的投影掩膜版衬底材料是熔融石英。不透明材料是一薄层铬。
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