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多项选择题

PG3000RMX减薄机清洁圈部分检查项目方法为()。

A.观察陶瓷清洁圈底面有无破损或变粗,动作是否灵活。
B.在半自动模式中选择“PLAT”单步操作,检查动作有无异常。
C.检查调整清洁圈在吸盘上的高度
D.清洁圈降低后应接触吸盘2-3mm的余量

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