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多项选择题

有些情况下需要对测量信号进行处理后再送往控制器，比如（）。

A.呈周期性的脉动信号需进行低通滤波
B.测量噪声需进行滤波
C.非线性化处理
D.线性处理
E.D/A转换

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单项选择题
为了减少外部干扰对塔内汽液比的影响，需要对（）进行有效的控制。

A.回流比
B.进料热焓与内回流量
C.进料成分
D.平衡点
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A.调节器
B.变送装置
C.一些非线性环节
D.自动控制系统
单项选择题
半导体生产过程传统的控制手段主要是固定工艺方案的单变量常规控制，比如（）、压力等环境参数的定值控制。

A.温度
B.湿度
C.流量
D.差压
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