问答题
简答题
光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
【参考答案】
增大了曝光场，可以获得较大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它还具有在整个扫描过程调节聚焦的能力。
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