单项选择题
A.SiH4加PH3 B.SiH4加BH3 C.PH3加BH3 D.SiH4加B2H6
A.104℃/s B.105℃/s C.103℃/s D.102℃/s
A.2.12eV B.1.6eV C.1.5eV，并且在一定程度上可调 D.1.12eV
A.900～1300℃ B.500～700℃ C.100～300℃ D.1000～1400℃
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