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多项选择题

从电极的结构看，溅射的方法包括（）。

A.直流溅射
B.交流溅射
C.二级溅射
D.三级溅射
E.四级溅射
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多项选择题
溅射的方法非常多其中包括（）。
A.直流溅射
B.交流溅射
C.反应溅射
D.二级溅射
E.三级溅射
多项选择题
一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。

A.产生一个离子并导向靶
B.被轰击的原子向硅晶片运动
C.离子把靶上的原子轰出来
D.经过加速电场加速
E.原子在硅晶片表面凝结
单项选择题
（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

A.溅射率
B.溅射系数
C.溅射效率
D.溅射比
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