多项选择题
A.离子发生器B.磁分析器C.加速器D.减速器
A.超浅结B.源漏注入C.深埋层D.阈值电压调整
A.修复晶格损伤B.激活杂质C.提高硬度D.提高稳定性
A.设备简单B.不受固溶度限制C.避免高温过程D.杂质纯度高
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