问答题
简答题
氧化系统的基本组成结构及每一部分的主要作用。
【参考答案】
工艺腔：提供高温氧化的加工环境
硅片传输系统：实现硅片在工艺腔中的装卸和传输
气体分配系统：实现维持......
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