单项选择题
A.悬浮物 B.尘埃 C.污染颗粒 D.浮质
A.不会影响成品率 B.晶圆缺陷 C.成品率损失 D.晶圆损失
A.功能 B.成品率 C.物理性能 D.电学性能 E.外观
A.颗粒 B.金属 C.有机分子 D.静电释放（ESD） E.水
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