多项选择题
A.预热升温阶段B.保温烘干阶段C.高温烘干阶段D.炉内降温阶段
A.等温渗氮B.两段渗氮C.三段渗氮D.多段渗氮
A.固体渗硅B.液体渗硅C.气体渗硅D.气体硅氮共渗
A.粗大；提高B.细化；降低C.粗大；降低D.细化：提高
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