多项选择题
A.热辐射灯 B.气体放电灯 C.金属弧灯 D.ICP E.高能闪烁光源
A.压缩机 B.冷凝器 C.毛细管 D.蒸发器 E.电动机
A.显微结构 B.超微结构 C.亚显微结构 D.微细结构 E.电镜结构
A.垂直气流速度 B.工作窗口气流流向和流速 C.工作区洁净度，光照度 D.噪声 E.排风HEPA过滤器检漏
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