单项选择题
A．不需要控制时间 B．渗透时间越短 C．渗透时间越长 D．以上都不正确
A．加压+净化+检漏 B．抽空+净化+检漏 C．充氦+净化+检漏 D．充氦+检漏
A．3个月 B．0.5年 C．1年 D．1.5年
A．离子源+收集器 B．真空室 C．分析器 D．A+C
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