单项选择题

蒸发和溅射对应的英文是（）

A.sputtering-evaporation
B.evaporation-sputtering
C.oxidation-epitaxy
D.epitaxy-sputtering

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单项选择题

A.蒸发—气相质量输运—淀积成膜
B.离化—气相质量输运—淀积成膜
C.蒸发—离化—淀积成膜
D.离化—挥发—淀积成膜

单项选择题

A.钛.钽.铜.铝.铂
B.钛.钽.铝.铜.铂
C.钛.钽.铝.铜.金
D.钛.钽.铝.铜.银

单项选择题

A.低压外延
B.离子注入
C.等离子体
D.汽相外延